表6-2 单位:台 ┌────┬──────┬──────┬──────┐ │年份 │L6515Ⅱ-4型 │D051-32型 │H105型 │ │ │单管氢气炉 │高温扩散炉 │单面磨片机 │ │ ├──────┼──────┼──────┤ │ │青岛无线 │青岛无线 │济南无线 │ │ │电专用设备厂│电专用设备厂│电设备制造厂│ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1966 │14 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1967 │27 │1 │35 │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1968 │31 │14 │50 │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1969 │20 │ │50 │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1970 │18 │ │30 │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1971 │10 │ │50 │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1972 │25 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1973 │57 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1974 │22 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1975 │11 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1976 │10 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1977 │10 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1978 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1979 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1980 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1981 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1982 │5 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1983 │4 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1984 │5 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1985 │17 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1986 │3 │52 │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1987 │ │36 │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │1988 │5 │61 │ │ ├────┼──────┼──────┼──────┤ │累计产量│294 │164 │215 │ └────┴──────┴──────┴──────┘ 续表 ┌────┬──────┬──────┬───────┐ │年份 │H110型 │L4514Ⅱ型 │L4514Ⅱ_33/RZQ│ │ │抛光机 │高温护散炉 │电脑程控 │ │ │ │ │高温扩散炉 │ │ ├──────┼──────┼───────┤ │ │济南无线 │青岛无线 │青岛无线 │ │ │电设备制造厂│电专用设备厂│电专用设备厂 │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1966 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1967 │51 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1968 │30 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1969 │40 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1970 │20 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1971 │50 │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1972 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1973 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1974 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1975 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1976 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1977 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1978 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1979 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1980 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1981 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1982 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1983 │ │33 │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1984 │ │52 │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1985 │ │15 │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1986 │ │44 │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1987 │ │10 │ │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │1988 │ │32 │5 │ ├────┼──────┼──────┼───────┤ │累计产量│191 │186 │5 │ └────┴──────┴──────┴───────┘ 续表 ┌────┬───────┬───────┬───────┐ │年份 │L6413Ⅱ-1型 │L4611-D型 │L4811Ⅱ型 │ │ │坑式真空烧结炉│卧式真空烧结炉│立式真空烧结炉│ │ ├───────┼───────┼───────┤ │ │青岛无线 │青岛无线 │青岛无线 │ │ │电专用设备厂 │电专用设备厂 │电专用设备厂 │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1966 │ │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1967 │ │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1968 │ │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1969 │ │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1970 │ │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1971 │1 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1972 │2 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1973 │8 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1974 │5 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1975 │10 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1976 │7 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1977 │14 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1978 │12 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1979 │10 │ │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1980 │ │10 │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1981 │ │5 │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1982 │ │5 │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1983 │ │10 │ │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1984 │ │10 │23 │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1985 │ │20 │21 │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1986 │ │5 │10 │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1987 │ │ │10 │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │1988 │ │ │20 │ ├────┼───────┼───────┼───────┤ │累计产量│69 │65 │84 │ └────┴───────┴───────┴───────┘ 续表 ┌────┬──────┬──────┬─────┐ │年份 │ZD-306型 │单晶炉 │ZFZ型 │ │ │真空镀膜机 │ │热压焊机 │ │ ├──────┼──────┼─────┤ │ │青岛无线 │青岛无线 │烟台无 │ │ │电专用设备厂│电专用设备厂│线电设备厂│ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1966 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1967 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1968 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1969 │1 │ │10 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1970 │51 │10 │24 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1971 │60 │10 │156 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1972 │80 │ │10 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1973 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1974 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1975 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1976 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1977 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1978 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1979 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1980 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1981 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1982 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1983 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1984 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1985 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1986 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1987 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1988 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │累计产量│192 │20 │200 │ └────┴──────┴──────┴─────┘ 续表 ┌────┬──────┬──────┬─────┐ │年份 │DWK/RZQ │PFJ-2型 │低压化学气│ │ │电脑温控仪 │平行缝焊机 │相淀积设备│ │ ├──────┼──────┼─────┤ │ │青岛无线 │青岛无线 │威海无线 │ │ │电专用设备厂│电专用设备厂│电三厂 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1966 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1967 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1968 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1969 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1970 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1971 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1972 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1973 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1974 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1975 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1976 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1977 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1978 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1979 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1980 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1981 │ │10 │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1982 │ │20 │10 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1983 │ │4 │5 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1984 │ │6 │13 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1985 │ │2 │12 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1986 │ │ │ │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1987 │10 │ │2 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │1988 │41 │ │5 │ ├────┼──────┼──────┼─────┤ │累计产量│51 │42 │47 │ └────┴──────┴──────┴─────┘