山东电子测量仪器与电子专用设备工业发端于60年代中期。1965年,济南电子 仪器厂(现济南无线电二厂)在山东工学院的帮助下,试制成功SB-10型示波器,次 年投入生产;1966年,青岛无线电专用设备厂试制成功L6515Ⅱ-4型单管氢气炉, 当年投入小批量生产。这是山东省最早生产的电子测量仪器与电子专用设备产品。 至60年代末期,生产企业逐渐增加,新产品不断出现,电子测量仪器主要产品有示 波器、计数器、万用电源、数字频率计、晶体管特性图示仪等,产品产量1966年为 160台,1969年增加到1595台;电子专用设备主要产品有氢气炉、高温扩散炉、真 空镀膜机、热压焊机等,产品产量1966年为92台,1969年增加到306台。电子测量 仪器与电子专用设备工业雏型基本形成,为进一步发展奠定了基础。 70年代,电子测量仪器与电子专用设备工业获得初步发展。到1979年,电子测 量仪器生产企业增加到18个,生产电子测量仪器9602台,比1969年增长5倍。工业 总产值3347万元,占全省电子工业总产值的4.47%。电子专用设备工业先后试制(研 制)成功单晶炉、坑式真空烧结炉、立式真空烧结炉、多种型号高温扩散炉、塑料 注射成形机等产品,企业的生产能力稳步增强。1979年,电子专用设备工业产量为 113台,产值占全省电子工业总产值1.17%。1970-1979年,累计生产电子专用设备 4590台。 80年代,电子测量仪器和电子专用设备工业技术水平明显提高,产品产量及质 量稳定上升。1980-1988年,电子测量仪器行业共获得省级以上科技成果奖(包括优 秀新产品奖)23项次,获得省级以上优质产品奖10项次,获得全国同行业评比奖2项 次;电子专用设备行业共获得省级以上科技成果奖12项次,获得省级以上优质产品 奖7项次。 1988年,山东电子测量仪器与电子专用设备工业企业数量分别为14个与12个, 职工人数为3615人与3291人,其中技术人员421人与168人;固定资产原值2415万元 与2486万元;拥有设备仪器2318台与715台;建筑面积16.8万平方米与9.46万平方 米;完成工业总产值4861万元与4622万元,占全省电子工业总产值2.25%与2.14%。