1991年1月，根据济南市分区规划的需要，省测绘局施测济南市历下、市中、槐荫、天桥、历城5区，共计245平方千米(49幅)1∶5000比例尺地形图。坐标系统采用济南市独立坐标系，图幅规格按40厘米×50厘米矩形分幅。等高距，平地、丘陵2米，山地、高山地10米。成图方法为航测综合法和全能片精测成图。航摄资料为1990年5月航空摄影，摄影比例尺1∶2.6万。航测成图的内、外业工作，分别由省测绘局航测内业大队和外业测绘大队依据国家测绘局1981年《1∶5000、1∶10000地形图航空摄影测量外业规范》(GBCHⅡ-101-81)、《1∶5000、1∶10000地形图航空摄影测量内业规范》(GBCHⅢ-201-81)和国家测绘局1986年《1∶5000、1∶10000地形图图式》(GB5791-86)和《济南市分区规划1∶5000地形图技术要求》完成。
1992年6月，省测绘局为青州市规划局施测1∶5000比例尺地形图，计150.37平方千米(标准幅24幅)。成图范围：东经118°24′～118°32′，北纬36°38′～36°40′。采用航测方法成图，由精密立体测图仪、解析测图仪测图。平坦地区内业测图高程精度达不到要求，则由外业施测高程注记点和一定数量的碎部点，供内业测绘地物和等高线。航摄资料为1992年5月航空摄影，摄影比例尺1∶1.9万，沿图幅中心线飞行。作业依据《1∶5000、1∶10000地形图航空摄影测量内业规范》(GBCHⅢ-201-81)、《1∶5000、1∶10000地形图航空摄影测量外业规范》(GBCHⅡ-101-81)和《1∶5000、1∶10000地形图图式》(GB5791-86)。测区的航测内、外业工作分别由省测绘局航测内业大队和外业测绘大队完成。成图规格按经纬度梯形分幅，每幅1∶1万比例尺地形图按经纬度等分为4幅。坐标系统采用1954北京坐标系，高程采用1956年黄海高程系。基本等高距，平地1.0米，丘陵地2.5米，山地5米。
1994年9月，为满足即墨市鳌山卫经济开发建设需要，省测绘局在鳌山卫施测1∶5000比例尺地形图，计54平方千米(22个自然幅)。作业依据CJJ8-85《城市测量规范》《1∶5000、1∶10000地形图航空摄影测量外业规范》(GBCHⅡ-101-81)、《1∶5000、1∶10000地形图航空摄影测量内业规范》(GBCHⅢ-201-81)和《1∶5000、1∶10000地形图图式》(GB5791-86)。采用青岛市独立坐标系、1956年黄海高程系。按50厘米×50厘米正方形分幅。基本等高距为1米，个别图幅高差过大，图上不能全部绘出1米等高距的地方，只绘计曲线。航摄资料为1994年6月航空摄影，摄影比例尺1∶1万。外业采用50厘米×50厘米的放大像片(比例尺1∶4600)进行调绘，内业采用精密立体测图仪、解析测图仪测图。地物测绘依据外业调绘片在立体模型上进行判读测绘，平坦地区根据外业桩点和定向点进行地貌测绘。图上地物点对最近野外平面控制点的平面位置中误差不超过0.5毫米；图上高程注记点和等高线对最近野外高程控制点的高程中误差，平地不超过±0.35米和±0.5米，丘陵地不超过±1.2米和±1.5米；困难地区上述规定放宽0.5倍。
1996年1-11月，为满足新汶矿务局鄂庄、南冶、西港、潘西4个煤矿矿区生产发展、建设规划需要，省地质测绘院在该区开展28平方千米1∶5000比例尺地形测量。采用航测全能法测图。使用1994年底省测绘局摄影的1∶3.5万比例尺航摄资料，使用精密立体测图仪托普卡D进行内业测图，最后进行全野外调绘和补测。基本等高距2米。
此后，随着全省陆域1∶1万比例尺地形图更新加快，设计、建设单位越来越多地使用更大比例尺地形图，全省1∶5000比例尺地形图的测绘逐渐减少。