外商投资企业用地，即“三资”企业(中外合资经营企业、中外合作经营企业、外商独资经营企业)使用的土地。从1980年开始，国务院多次发布文件，将之纳入依法管理的轨道。山东省政府结合本省情况，也制定了一系列政策和措施。
1980年7月，国务院发布《关于中外合营企业建设用地的暂行规定》，规定中外合营企业建设用地，不论新征用土地，还是利用原有企业的场地，都应计收场地使用费。
1983年9月，国务院发布《中外合资经营企业法实施条例》，规定中外合资企业使用场地要缴纳场地使用费。
1986年11月，省政府印发《山东省鼓励外商投资的优惠措施》。据此，对产品出口企业和先进技术企业的场地使用费，凡开发费和使用费综合计收的地区，每年每平方米收费5元—20元，凡开发费一次性计收或者上述企业自行开发场地的地区，使用费最高为每年每平方米3元。对先进技术企业，经企业所在市政府(地区行政公署)批准，可免收场地使用费5年，对当年企业出口产品产值占当年企业产品产值60%以上的企业，可免收场地使用费5年。
1990年起，随着国务院《城镇国有土地使用权出让和转让暂行条例》的实施以及土地使用制度改革的不断深入，外商投资企业用地主要采取出让方式使用国有土地，但也有一部分内资企业采取嫁接等方式共同利用原有建设用地兴办合资企业，土地由中方办理出让手续，再出租给合资企业使用，或中方在办理出让手续后采取以土地作价出资(入股)方式投入合资企业运营，也有将原有划拨土地转变为有偿划拨方式使用的，场地使用费由合资企业缴纳。
1990年11月，《山东省鼓励台湾同胞投资的优惠政策规定》规定对台胞投资企业用地采取划拨和出让两种方式，实行有偿有限期使用制度。
划拨土地使用权。划拨土地使用权的使用期限，一般依合营期限确定，但最高不得超过国家及山东省规定的期限；使用期内，不论是新场地还是旧场地，均须按合同规定缴纳土地使用费。台商投资企业用地的场地使用费：场地使用费(包括场地开发费和土地使用费)标准为每年每平方米5元—15元，凡场地开发费一次性计收和企业自行开发场地的地区，土地使用费每年每平方米不低于3元；产品出口企业和先进技术企业在其经营期内第一年至第十年免收土地使用费；对属于向能源、交通、港口、开发性农业等基础产业投资的，在其经营期内，第一年至第十年免收土地使用费，第十一年后减半收取土地使用费。
出让土地使用权。国有土地使用权出让形式有三种，即拍卖、招标、协议。台胞可根据情况选定一种方式，与当地政府土地管理部门签订土地使用权出让合同，按规定程序报批后，交付出让金，办理登记手续，领取土地使用证，取得土地使用权。土地使用权出让年限根据土地用途、具体地块使用要求确定，但不得超过国家规定的最高年限。
成片土地开发经营政策规定。台胞投资企业从事成片土地开发经营的，参照国务院《外商投资开发经营成片土地暂行管理办法》执行。《山东省鼓励台湾同胞投资的优惠政策规定》还特别对台胞成片开发土地提出了优惠政策：其应付的土地使用权出让金，按当地规定标准的低限收取；经批准，可将国有的生荒地、山峦地、沟壑地和不适宜搞养殖的滩涂地，依法出让给台湾投资者自行开发使用，从其开发年度起，十年内免收土地使用费。
1990年12月，《中华人民共和国外资企业法实施细则》对外资企业用地和费用作出规定：外资企业的用地，由外资企业所在地的县级或者县级以上地方政府根据本地区的情况审核后，予以安排。外资企业应当在营业执照签发之日起30天内，持批准证书和营业执照到外资企业所在地县级或者县级以上地方政府的土地管理部门办理土地使用手续，领取土地证书。土地证书为外资企业使用土地的法律凭证，外资企业在经营期限内未经批准，其土地使用权不得转让。外资企业在领取土地证书时，应当向其所在地土地管理部门缴纳土地使用费。
1992年7月，省政府出台《山东省鼓励外商投资开发经营成片土地和房产试行办法》，规定：开发企业从事成片土地开发经营，形成“五通一平”(通水、通电、通路、通讯、通气，平整土地)、“七通一平”(通水、通电、通讯、通路、通邮、通燃气、通热力，平整土地)建设用地，并在开发区域内举办生产性项目，建设能源、交通、港口和与其相配套的社会公益事业，政府一般以协议方式出让土地使用权，土地使用权出让金按标定地价的一定比例给予优惠，优惠额由企业所在地的市、县政府确定；对教育、医疗卫生和其他社会公益事业等不以盈利为目的的项目进行开发建设的企业，经市、县政府批准，其应缴纳的土地使用权出让金予以减免；允许开发企业向境内外销售商品房屋。开发企业开发建设的商品房，其外销比例一般不低于50%，价格放开，自主经营。对开发建设期间的土地，开发企业免缴土地使用费；完成开发建设的土地，其土地使用费的减免，由所在地的市、县政府确定。
1998年2月，省政府印发《山东省鼓励外商投资优惠政策》，规定：外商投资企业从事基础设施、农业综合开发以及高新技术项目，采用出让方式取得土地使用权的，按照土地审批权限经批准后，可执行最低价，按照有关规定一次付清；对一次性支付出让金有困难的，可先付清出让金中的征地费，其余部分可分期付清。利用外资进行技术改造的工业企业，如中方以划拨土地使用权作价投入，可申请按土地出让金的40%缴纳。按此规定处置后，企业仍有困难的，其缴纳出让金的比例可适当调低，也可以申请5年缓缴期。外商投资企业经批准从事安居工程开发建设的，享受国有企业同等待遇。凡使用国家安居工程的建设用地，可采取行政划拨方式供应，地方政府相应减免有关费用，城市基础设施配套费可减半缴纳，在安居小区可建设20%—30%的商品房，以提高外商投资回报率。