2000年5月，泰山高科技园筹建小组提出《关于泰山高科技园开发建设的总体设想》。中共泰安高新技术产业开发区委员会批准在泰安高新技术产业开发区现有6平方公里范围内划出300亩土地作为泰山高科技园的起步区。6月27日，泰山高科技园揭牌。
2002年5月，区委、区政府成立东部新城区规划建设领导小组，划分规划建设等7个工作小组。是年7月，区委、区政府印发《关于加快泰城东部新城区建设的意见》，决定规划建设“以工业为主的现代化园林式新城区”。 规划道路为“四纵八横”：南北“四纵”为天烛峰路、碧霞湖路、汉明堂路、芝田河路， 东西“八横”为科技大街、发展大街、泰前大街、创业大街、繁荣大街、东岳大街东段、东湖大街、灵山大街。同时，园区建设计划分三步走：第一步2002年，建成3平方公里起步区；第二步2003～2005年，建设面积达到10平方公里；第三部2006～2010年，建设面积达到30平方公里。
2003年4月，区委、区政府印发《关于进一步加快东部新区发展的意见》，东部新区的管理范围33.57平方公里，下辖五个功能分区：以泰山高新技术产业开发区管委会为主的高新技术产业开发区，以白马石社区为主的居民居住区，以客货运输中心为主的综合商贸区，以碧霞湖、芝田河周边为主的园内风景旅游度假区，以省庄中心镇为主的经济技术开发区。
2006年，山东省对开发区进行清理整顿。是年3月，经省政府批准，正式设立为省级开发区——山东泰山工业园，规划面积4平方公里。规划范围：西起汉明堂路、东至芝田河、南起创业大街、北至东苑大街。