清末，县下基层行政机构为乡（城镇）、社、村，分别设乡（城镇）长、社长、庄长。1911年改乡（城镇）为区，区下仍设社、村。
民国政府，初沿清制。1929年，各区内原有社、屯改为乡（镇），下设闾、邻。区、乡（镇）均设公所，置区、乡（镇）长，阊、邻各设闾、邻长。1934年11月，撤区扩乡，乡（镇）下设村、闾、邻。后恢复区，区下设乡（镇）、保、甲。区、乡（镇）、保各设公所，置区、乡（镇）、保、甲长。
中国共产党领导的人民基层政权，1945年7月，县下建立区、乡、村。区设区公所，置正、副区长；乡初为联防，后改为联合村。1948年底改为乡政府，设正、副乡长；村设村长。1958年2月，撤区并乡，各乡（镇）建立人民委员会，设正、副乡（镇）长。同年9月，建立人民公社。实行乡、社合一，后乡自行消失。每公社置社长1人，副社长数人，并组成管理委员会，下设耕作区。1959年3月，正、副社长改称正、副主任；撤销耕作区，设生产大队、生产队，并分别建立管理委员会，各设正、副队长。1966年下半年，因“文化大革命”各社、队管理委员会瘫痪。1967年3月各公社、生产大队先后建起革命委员会，均设正、副主任，生产队仍设正、副队长。1980年9月，撤销各公社、大队革命委员会恢复各级管理委员会。1983年12月撤销生产队。1984年上半年，先后全部撤销人民公社，建立乡（镇）人民政府，设正、副乡（镇）长。同年12月，撤销生产大队，建立村民委员会，设正、副村主任。
附：日伪县公署、县政府
1938年1月13日，日军侵占高密城，成立“治安维持会”，置会长、副会长；设总务课、治安课、建设课、经理课（管财政）、宣抚班、贩卖股（专供日军副食品、柴草等）。同年5月24日，“治安维持会”改为县公署，单仲甫任县知事。1939年1月，县公署改称县政府，县知事改称县长，县长先后为：万阐民（1939年1月至1943年4月）、姚钰（1943年4月至1945年3月）、谭永久（1945年3月至1945年8月）。县先后设秘书室、财政科、民政科、建设科、教育科、宣传科、承审处、警察局、青岛统税局高密稽征所、爱护村行政办事处、县十大区联合办事处。县下基层机构实行区、乡（镇）、保、甲制，分别设区、乡（镇）、保公所，置区、乡（镇）、保、甲长。1945年8月，日伪政权崩溃。