明朝以前招远县行政区划无考。明代，设东、西、南、北4个乡。清代，设会仙、良山、灵山、黄山4个乡，各乡辖12个社，共48个社，均以地名命名。
1913～1927年，设8个区，均以序数命区名。各区均下设6乡，共48个乡，各乡以地名命名，重名者标以序号，如老翅一乡、老翅二乡。1928～1931年，划为9个区，区下设4镇48乡，以地名命名。1932～1938年，区下镇、乡区域缩小，析成28个镇141个乡。
1941年1月，析招远县为招远县和招北县，招远县划为9个区，招北县划为11个区，仍以序数命区名。1945年8月，将序数区名改以地名命名。招远县设招城、旗山、毕郭、勾山、华山、磨山、齐山、高山、转山9个区；招北县设灵山、金矿、金岭、金华、界河、罗山、张画、纪山、阜山、垛石、金山11个区。
1950年1月1日，招远、招北两县合并为招远县，设城关、华山、金矿、金华、界河、金山、纪山、金岭、张画、罗山、阜山、旗山、磨山、齐山、毕郭、高山、勾山17个区，是年11月改为序数区名。1952年1月，实行区、乡两级制，以序数命区名，以地名命乡名，划为15个区，148个乡。1956年3月，划为城关、华山、灵山、界河、金岭、纪山、罗山、磨山、毕郭、勾山10个区，区下设124个乡。同年11月，划为1个镇10个区，镇下无建置，区下共设40个乡。
1958年5月，撤区改设城关镇和北岭、郭家埠、朱范、潘家、大里、宋家、傅家、杜家、五截、辛庄、蚕庄、中村、车家、道头、大疃、毕郭、霞坞、陡崖、青龙、官里20个乡。10月，撤销原镇、乡建置，组建20处人民公社，即国庆、大众、超美、光明、超英、幸福、卫星、跃进、红旗、曙光、金星、东方、先进、灯塔、东风、胜利、火箭、五星、红星、前进人民公社。11月8日，缩编调整为城关、车家、中村、蚕庄、辛庄、张星、朱范、栾家河、南院庄、大曲庄、岔道、车元口、陡崖、宋家等14处人民公社。
1959年5月，各公社重新命名，称为城关、金岭、灵山、界河、金山、纪山、罗山、阜山、磨山、毕郭、勾山、高山、华山、齐山人民公社。1962年，高山公社并入勾山公社，从勾山公社西部析置青龙公社。1966年，从纪山公社析置徐家公社，从磨山、罗山、城关公社析出大秦家公社。1971年,从华山和金岭公社析置大户陈家公社。1975年，徐家公社并入纪山公社，全县确定为城关、齐山、华山、灵山、界河、金岭、金山、纪山、罗山、阜山、磨山、毕郭、勾山、青龙、大秦家、大户陈家16处人民公社。1981年，城关公社改为城关镇，华山公社改称道头公社，青龙公社改称东庄公社，金山公社改称张星公社。
1984年3月，撤销人民公社，设招城（城关镇改置）、道头、蚕庄（灵山公社改置）、辛庄（界河公社改置）、金岭、毕郭6个镇和张星、宋家（纪山公社改置）、罗山、栾家河（阜山公社改置）、南院（磨山公社改置）、大吴家（齐山公社改置）、新村（勾山公社改置）、东庄、大秦家、大户陈家10个乡。1985年6月，罗山乡改为玲珑镇。1988年10月，新村、宋家、张星3个乡分别撤乡改置夏甸、宋家、张星镇。1989年6月，大秦家撤乡设镇。1990年，南院撤乡设镇。1993年8月，置外向型工业加工区。1994年3月，招城镇前柳行、冷家庄子、朱家咀、王家大沟、后柳行、汤东沟和大秦家镇横掌滕家、埠后等8个村划归外向型工业加工区。1994年9月，栾家河乡改为阜山镇。1995年7月，东庄乡改为青龙镇。1996年7月，大吴家乡改为齐山镇。1999年1月，撤销招城镇，设罗峰、泉山、梦芝3个街道。至此，全市划为道头、蚕庄、辛庄、金岭、毕郭、玲珑、宋家、张星、南院、大秦家、夏甸、青龙、齐山、阜山14个镇，大户陈家1个乡，罗峰、梦芝、泉山3个街道，1个外向型工业加工区。
2000年12月，宋家镇和张星镇合并为张星镇，青龙镇和夏甸镇合并为夏甸镇，南院镇和阜山镇合并为阜山镇，大户陈家乡和蚕庄镇合并为蚕庄镇，道头镇和齐山镇合并为齐山镇（镇驻地为原道头镇驻地）。2002年2月，外向型工业加工区更名为经济开发区。6月，将蚕庄镇所辖原从大户陈家乡划入的大户陈家、中华山、上华山、西华山、古宅、于家埃、北冯家、南冯家、赵书策、西梧桐夼、侯家沟、谢家沟、上夼等13个村划归金岭镇。2002年底，全市辖蚕庄、辛庄、金岭、毕郭、玲珑、张星、大秦家、夏甸、齐山、阜山10个镇，罗峰、梦芝、泉山3个街道，1个经济开发区，共724个行政村。