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第一辑 电子器件

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　　第一辑 电子器件
半导体分立器件 硅晶体二极管 1966年初， 以潍坊棉织三厂为主，开始试制半导体器件。9 月， 第一批ZP5A/400V型硅整流管试制成功，并投入生产。这是潍坊市首批生产 的电子器件。 1968年5月又试制成功ZP型50A硅整流管。1969年4月，潍坊棉织三 厂正式转产，更名为潍坊无线电一厂。 1970年， 无线电一厂新增200安培大功率全动态测试台、晶体管综合参数测 试仪、硅单晶测试仪、烧结炉、扩散炉等生产专用设备。年底，试制成功焊结一 压结水冷式400安培整流管和ZP100A、ZP200A螺栓式硅整流管，当年小批量投产。 1971年，无线电一厂增添了真空镀膜机、超声波点焊机、光刻机等适用于平 面工艺和扩散工艺的重要设备，将原扩散工艺改为新的双扩散工艺，使ZP型硅整 流管年产量达到8.73万只， 比1970年提高57.7％。1972年3月，昌邑县制鞋厂电 子车间试制成功2CW系列硅稳压二极管。 1973年至1976年，无线电一厂在新建生产楼的同时，装备了净化车间，增添 了新式光刻机、真空镀膜机等30台先进设备。1976年，ZP系列硅整流管产量达到 9.56万只。同年6月，昌邑县鞋厂电子车间与鞋厂分离，定名为昌邑县无线电厂， 当年生产2CW系列硅稳压二极管14.2万只。 1977年，无线电一厂新添置了压力机、浪涌测试台、切削机床等专用设备， 使ZP型硅整流管年产量达到9.91万只。 昌邑县无线电厂生产的2CW系列硅稳压二 极管，年产量达30.52万只。 1982年， 无线电一厂又试制成功ZP500型风冷式硅整流管，昌邑无线电厂增 加了2CN晶体二极管生产。 1983年， 无线电一厂采用双扩散法代替旧的扩散-烧结法；用化学镀镍层代 替金锑层； 在ZP200型硅整流管中试制成功不用金锑层的生产工艺。一年即节约 金锑合金540克。 1984年，无线电一厂新增了大型烧结炉、自动磨角机、冲击台、综合参数测 试仪，以及例行试验设备等。1985年1月，该厂试制成功ZP1000A硅整流管，当年 进行批量生产。 1986年至1990年， 累计生产ZP型整流二极管118.42万只，2CW系列稳压二极 管和2CN系列阻尼二极管155.76万只。 硅晶体三极管1969年， 山东省国防工办决定由潍坊无线电三厂试制3DK硅三 极管，并拨款16万元兴建厂房。在上海元件五厂、北京沙河半导体器件厂和生建 八三厂研究所的指导下， 同年12月试制成功3DK平面外延高速开关管。国家四机 部、 山东省国防工办决定潍坊无线电三厂为3DW高速开关管定点生产厂。1970年 开始批量生产。这年10月，安丘无线电厂成立后，于1971年仿制成CG35硅晶体管； 1972年， 安丘无线电厂仿制成CG36硅晶体管；无线电三厂又增加了3DG系列。至 此，无线电三厂已能生产3DK、3DG两个系列8种型号的产品。 1973年，安丘无线电厂仿制成CG37硅晶体管。1974年，又试制成功CG38硅晶 体管，并应用于人造地球卫星地面接收站。山东半导体研究所更名为山东半导体 厂，由事业单位改为企业单位。1975年，山东半导体厂仿制成台面扩散型高反压 大功率晶体管；1976年仿制成ZG210和ZG211高频小功率晶体管，并自行设计试制 成功3CG74硅高频中功率晶体管。 该厂生产的高频高反压3DG3晶体管，用于我国 第一颗回收人造卫星。 4月，安丘县工艺品厂绝缘子车间改为无线电元件厂，并 仿制成3DD系列低频大功率晶体管。 1977年， 无线电三厂由单纯生产军用品逐步转向军民通用品；生产的3DK、 3CG系列发展到27种型号、114个规格。安丘无线电厂仿制成3DG15、2G912硅高频 低噪声晶体管。 安丘无线电元件厂开始生产3DD15、DD02系列硅低频大功率晶体 管。 1978年，安丘无线电厂研制成功CG40晶体管；同时，研制出CG38参数测试仪。 1979年， 该厂又试制成功CG40、 3DG56、 80晶体管。安丘无线电元件厂仿制成 DF104高反压大功率晶体管， 生产的3DD15晶体管出口巴基斯坦；1980年5月，该 厂生产的3DD15大功率管用于南太平洋运载火箭取得成功， 中共中央、中央军委 发来贺信给予嘉奖。11月，安丘无线电元件厂新组建3个半导体晶体管生产车间， 生产3DD15、 DD02、DD03系列硅低频大功率晶体管。安丘无线电厂生产的3DG141 型NPN硅外延平面低噪声三极管，获山东省优质产品称号。 1983年3月， 山东半导体厂由沂源县搬迁安丘县，与安丘无线电厂、安丘无 线电元件厂合并，11月成立山东半导体总厂(原八○七○厂厂名保留) 。1984年8 月，无线电三厂从香港引进少量DG945、CG733晶体三极管芯片，改金属壳封装为 塑封工艺。当年生产塑封三极管4.4万只，产品性能稳定，深受用户欢迎。 1985年， 山东半导体总厂生产的3DG142型NPN硅外延平面低噪声三极管，获 全国同行业评比二等奖(全国无一等奖) ；3DD202型硅NPN低频大功率三极管获山 东省优质产品称号。该厂还从香港引进设备16台(套)，国内配套设备34台(套)。 无线电三厂从香港引进部分DG9013、DG3850、CG3955等型号芯片，生产硅高频小 功率和高频低噪声小功率管， 年订货量超过300万只。因此，又从香港引进一套 TO-92型塑封三极管后工序生产线，设计能力为2400万只/年。1986年，山东半导 体总厂生产的大、小功率塑封晶体管开始对外出口。1987年，山东半导体总厂从 美国、日本、联邦德国、香港等国家和地区引进设备17台(套)，1989年试车投产。 同时，试制成功用于彩电开关电源电路及其他低频放大电路的3DD820和用于彩电 输出的3DD869两种低频高反压大功率晶体管， 当年生产1.5万只。1990年通过省 级鉴定，是年生产3万只。 硅闸流三极管 亦称可控硅。 由潍坊无线电一厂生产。1967年6月，开始研 制KP型晶闸管； 1968年5月试制成功；1969年定型，当年生产5700只。1970年生 产1.68万只。1971年，采用双扩散、真空镀膜、超声点焊新工艺及平板型陶瓷外 壳新结构、 新材料试制成功KP200型平板结构式闸流管，使潍坊从只能生产螺旋 式中功率以下的晶闸管， 进入生产大功率器件的行列。 这年生产KP型晶闸流管 4.04万只。 1972年至1976年，因市场需求变化，仅生产7.98万只。1977年7月， 为满足油田测井的需要，开始试制5A耐高温晶闸管。试制中采用了光刻图形等工 艺，解决了晶闸管触发电压、触发电流与高温特性之间的矛盾。同时设计了一种 新型表面气相钝化方法，使晶闸管的表面漏电电流在阻断电压的情况下，温度从 100℃提高到175℃；漏电流保持在0.01MA以下不增加。采用特殊的扩散方法及扩 散杂质源，解决了高温下表面击穿，降低表面电场强度，使表面电场分布均匀。 这年生产KP晶闸管3.26万只。 1978年5月， 获昌潍地区科学大会奖。 1978年至 1981年， 共计生产KP型晶闸管9.01万只。 1982年， 试制成功KP500型晶闸管， 1983年12月通过省级鉴定，填补了一项省内空白。后在生产过程中，不断对生产 工艺进行改进，把晶闸管体源扩散改为开管气体携带液态源扩散和液态源涂层扩 散，提高工效4％；节约了昂贵的高纯度石英管，降低费用5％；采用双扩散法， 使扩散浓度均匀提高20％；产品电压等级由最高1000伏提高到3000伏，电流等级 由200安培提高到1000安培以上； 以气相钝化代替氧化溅射，质量和成品率提高 20％；采用双扩散-化学镀镍代替烧金锑工艺，一年节约黄金3.6公斤。1982年至 1984年共计生产KP型晶闸管3.49万只。1985年无线电一厂试制成功KP1000型1000 安培晶闸管，当年形成200只的生产能力。到1990年末共计生产KP型晶闸管12.07 万只。 锗晶体三极管 1966年10月，坊子电工社(后改为潍坊无线电元件四厂)，试 制成功玻壳锗低频小功率管3AX71，当年生产0.4万只。 1968年5月，无线电四厂将真空烧结改为氢气烧结，提高效率5倍。根据社会 需求， 又派人赴上海无线电七厂学习3AX81生产工艺，于10月试制成功，同时， 还试制成功了3AG1。 1969年3月，3AX81正式投产，当年生产7.92万只。1970年6 月， 3AG1正式投产。作低频放大、功率500MW的晶体三极管3AX61-63，也于这年 试制成功。1971年7月试制成功3AD1-5锗合金低频大功率晶体管。1972年4月，开 始试制3BX2， 7月试制成功，12月投产。同时，试制成功3AD11-17锗低频大功率 管。 1973年， 将3AX71玻壳封装改为铁壳封装，变产品型号为3AX31，玻壳封装 100支/小时，铁壳封装800至1000支/小时，提高效率8至10倍，封口质量提高5至 10倍。 但3AD系列产品后来受整机生产形势影响产品销量甚少， 除1973年生产 3AD1-8 0.15万支和1976年生产3AD1-5 0.21万支外， 至1976年， 3AD1-5、 3AD11-8暂时停产。 1977年至1978年，3AD系列车间又重新组织3AD1-5、3AD11-17、3AD18的生产。 1978年， 3AX因放大倍数小、β漂移等因素停产整顿。是年10月，潍坊无线电元 件四厂与潍坊无线电元件三厂合并，厂名为潍坊无线电三厂。 1979年， 3AX1停产， 3AG1转产， 3AD系列也因销路不畅停产，只集中生产 3AX81。 1980年至1981年全国收音机生产形势好转，3AX81、3BX81畅销。1981年8月， 3AX81锗低频小功率管被评为山东省优质产品。 1982年，潍坊无线电三厂研制成功3AX85。参照国外AC187研制成功3AX100， 功率达到500MW以上， 被列为山东省电子局科研项目。利用厂内积压的3-5Ω-CM 的3AX81锗片研制成功3AX83， 功率比3AX81大1.5倍。1983年，利用3AX81支架和 废硅片，研制成功全桥QL、半桥1/2QL。截至1985年，共计生产全桥QL13.45万支， 半桥1/2QL12.8万支，生产各种型号的锗晶体三极管2007.71万支。1985年后因市 场需求变化，锗晶体三极管未再安排生产。 锗晶体二极管 1965年秋，潍坊市坊子工业办事处和坊子粘土矿，决定生产 半导体二极管和高频瓷绝缘体。 1966年2月，自制封口机、划片机、空气压缩机 等设备，于4月试制出第一批锗点接触二极管。5月，坊子粘土矿二极管车间改名 为潍坊无线电元件三厂(简称无线电三厂)。 1967年至1970年， 无线电三厂自力更生新建厂房220平方米。1970年生产二 极管80.57万只。 1971年至1972年，锗晶体二极管销路不畅，被迫停产，专门生 产3DK系列二极管。1973年6月，市场销售情况好转，锗晶体二极管恢复生产。到 1976年因市场饱和又停产。 5G37型集成电路 1980年1月， 无线电一厂开始研制集成电路。一年后试制成功5G37型集成电 路功率放大器(即5G37集成电路) 。1982年6月通过省级鉴定，进行批量生产，当 年生产2.51万只。 生产过程中采用氯化氢抛光技术，提高成品率5.6％，降低成 本8.9％。 1986年，因与其配套的黑白电视机线路改型，5G37型集成电路功率放 大器停产。自投产到停产，累计生产59.25万只。 半导体零件 1968年10月，昌潍地区国防工办分配给诸城县无线电零件厂B型、F型高频小 功率晶体管零件试制任务。1969年8月，诸城县木工厂成立研制组，开始对B型、 F型半导体零件(简称管座、管壳) 的试制。第一批管壳、管座全部用手工操作而 成， 经山东省科研部门鉴定，认为达到合格标准，同意批量生产。1970年2月， 研制组与木工厂分家， 成立了“七七”试验厂。1971年5月，“七七”试验厂与 诸城县无线电零件厂合并。 1972年， 该厂自行设计制作大型烧结炉5台，提高工作效率10倍；制作双颈 自动切丝机2台， 提高工作效率60倍；制作绕圈机和真空退火炉等无线电专用设 备。 1973年初，又先后开发了B3D、T08、T12和F1、F2型等大、中、小功率晶体 管管座、 管壳、集成电路框架等10多种产品。1974年，试制成功B型晶体管零件 的自动跳步模。1975年至1978年，推广剪磨机的应用，由二道工序改为一道工序， 提高工效10倍， 并试制成功JBB-14、 T0-12、 JBB-18等型号的集成电路框架。 1983年7月被电子工业部定为“七七”骨干企业。1984年4月，被国防科工委定为 “七七”产品定点厂；10月，B1型半导体零件被山东省经委评为优质产品。1985 年12月，B3型晶体管零件获山东省优质产品称号。 1986年，根据市场变化，电子产品进行调整，B1型半导体零件只生产了2672 万套； B2型半导体零件生产了1100万套；F型产品生产202万套；F1B型属换代产 品，实行限产，仅生产了25万套；F2E型产品停产；F1E产品被淘汰。替代产品-- 彩电高反压信号放大管的T0型半导体零件试制成功， 并在当年投产，T0-3A生产 了3500套；T0-3B生产1.05万套。同时，该厂研制的LY906型管壳零件，年底通过 了科研及军工部门鉴定，各项性能指标均达到军工生产要求。 1987年至1988年，两年共生产B1型产品4043万套，B2型产品在1988年下半年 因产品换代而被淘汰； B3型实行限产；F型生产有所回升，产量达560万套；F1B 型于1988年6月停止生产；F2E型实行限产限量。Tｏ-3A型随着用户的增加，1987 年产量扩大到6700套， 比1986年提高近1倍。1988年因质量不稳定，实行限产； Q5C型于1987年下半年停产。与此同时，该厂于1987年开发研制了D型滤波器外壳 投放市场， 并于当年通过省、 市质量监督部门的鉴定。1988年，D1型产品生产 115.04万套，D2型生产40.55万套，同时，还根据用户要求将原来的B型改为A3型， F型改为B2型，D型改为SA型，适应了市场需要。 1989年至1990年，继续对产品结构进行调整，对原有老产品实行限产。A3型 1989年生产980万套，1990年调整为529万套；B2型1990年生产1016万套；图25型、 图28型于1990年停产； LY906型1990年形成批量生产， 当年生产3700套。 SA型 1989年由于产品质量稳定，性能可靠，产量稳步上升，SA1型生产达到194.2万套， SA2型23.2万套。1990年，SA1型年产量高达344.83万套，SA2型101.16万套。 叉指型散热器 1971年1月， 国家四机部标准化研究所在山东省胶南县召开了全国“叉指型 散热器” 标准审定会，从昌乐县散热器厂生产的24种样品中优选出了3个系列11 种型号的散热器定为部标准。同时，该厂定为生产部标准散热器的专业化生产厂。 7月，昌乐散热器厂邀请全国500多个厂家，在胶县召开了推广应用散热器的专业 会议。会上由参加标准设计的单位作了叉指型散热器的热阻测试方法和如何正确 选用叉指型散热器的学术报告，使散热器得到推广应用。 1978年9月， 由省、县、厂筹集资金41万元，用于昌乐散热器厂的基本建设 和设备改造。1979年7月，散热器厂搬迁新址。此后，该厂投资2万元，制成一条 氧化流水生产线， 1人可代替5人同时操作9道工序，氧化散热器由原来的年产70 万件提高到300万件。 1980年，该厂又研制开发了42种不同型号的新产品，在原 部标11种型号的基础上，发展到53种，被全国各无线电整机厂广泛采用。到1983 年，产品覆盖面达全国27个省、自治区的520多个厂家。 1984年4月，山东省电子工业总公司在昌乐县召开了对SR2系列叉指型散热器 生产定型鉴定会。 会议认为该产品结构、 散热性能、 产品质量均达到部颁 (BJ1266-77) 标准。经南京工学院测试资料对比，接近国外同类产品水平。该厂 还与成都电子研究所、南京工学院、北京标准化器件所协作，新扩部标29种，定 为SR21266-84系列。 5月，电子工业部叉指型散热器扩标会议在昌乐召开，该厂 生产的叉指型散热器，由原来部标11种型号扩充到部标40种。10月，昌乐县散热 器厂生产的时代牌SR2系列叉指型散热器评为省优质产品。 1985年，国家电子工业部在天津召开了彩电国产化工作会议，安排昌乐县散 热器厂承担试制彩电用散热器任务。4月，该厂试制出样品300件，经装机使用全 部合格。 1986年，进行设备改造，新购进冲床9台和数控线切割机床等模具加工 设备4台， 扩大了生产能力。同时，又先后试制生产了国内引进的日本彩电厂家 索尼、夏普、胜利、东芝、三洋等机型的17种彩电用散热器，分别用于引进日本 各种机型彩电用的电源部分及行、 帧输出大功率管的散热。5月，山东省电子工 业总公司在昌乐县召开了SRB902彩电用散热器定型鉴定会。会议认为，该产品结 构尺寸、 形位公差、热阻性能等各项技术指标，均符合鲁QWF128-86企业标准。 经南京工学院测试和发送日本国测试，其性能指标均达到国外同类机型散热器水 平。12月，昌乐县散热器厂生产的时代牌SRB902彩电用散热器被评为省优质产品。 1987年，革新改造成功一条微机控制氧化流水线，解决了原氧化流水线某些项次 的工艺不足和机器老化等问题，比原工效提高1倍多。1988年至1990年，3年共生 产彩电散热器1251.43万件。