第五节 坑式真空炉 单晶炉

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坑式真空炉 1971年,四机部将成都708厂生产的L6413II型坑式真空炉,炉膛为直
径300×600毫米,工作温度最高1300℃,真空度5×10-5毫米汞柱,安排给青岛无线
电专用设备厂生产。当年试制成功。之后,连续生产了9年,至1979年停产,累计生产69
台。不仅满足了国内用户的需要, 并于1975年、1976年分别援助了朝鲜民主主义人民
共和国和阿尔巴尼亚人民共和国各1台。
单晶炉 60年代末, 在“大办电子工业”的方针指导下,电子产品迅速兴起,单晶
硅成为紧缺材料。1969年底,青岛无线电专用设备厂派员赴上海松江901厂学习。经过
半年的时间,终于试制成功两台样机。经青岛半导体实验所试机,成功地拉出了合格的
单晶硅, 1970年6月18日,《青岛日报》第一版报道了“青岛无线电专用设备厂艰苦奋
战制成中国式单晶炉”的消息。同年, 投入批量生产。当年生产10台,翌年,又生产10
台后停产。