1969年,青岛无线电专用设备厂采用上海无线电设备厂的全套图纸,当年试制成功
并生产了17台圆形炉体的真空烧结炉。此为青岛市最早生产的真空烧结炉。
1972年, 青岛无线电专用设备厂自行设计了一种工作温度为900℃,最高可达1100
℃,恒温区长度为150毫米/±3℃、200毫米/±5℃,单点精度为±2℃,工作室真空度为
10-4～10-5毫米汞柱的真空烧结炉。这种真空烧结炉采用了可控硅和丝杠推
进的加料装置,定型为L46750/QWZ。
1980年,青岛无线电专用设备厂又重新设计和试制了一种卧式真空烧结炉,炉管口
径80毫米,工作温度400～1200℃,控制精度≤±1℃/24小时,恒温区≥200毫米/±1℃,
冷态真空度为5×10-5毫米汞柱, 定型为L4611II—C/QWZ。1984年,在原设计的基
础上,采用高温扩散炉的全套控温和加热系统作为新型烧结炉的加热控制系统,并改进
了炉丝结构,研制成功立式真空烧结炉,定型为L4811II,其工作温度为400～1050℃,冷
态真空度≤5×10-5毫米汞柱, 真空室直径100×500毫米。1986年,青岛无线电专
用设备厂又研制了真空室直径120×500毫米的新品种。
至1986年底,青巍牌真空烧结炉历年累计生产239台,行销全国18个省市的120个厂
家,成为国内半导体器件生产厂的必备设备。