第三节 真空镀膜机 平行缝焊机

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真空镀膜机 1969年, 青岛无线电专用设备厂采用成都708厂ZD—306型真空镀膜
机的全套设计图纸和技术资料, 试制出第一台“青巍”牌真空镀膜机。“青巍”牌真
空镀膜机的真空蒸发容积为直径306×450毫米,蒸发室的极限真空度5×10-6毫米
汞柱, 镀制最大工作物为120毫米,型号为ZD—306。1970年,投入批量生产。至1972年
底,总计生产192台后停产。
平行缝焊机 1980年, 青岛无线电专用设备厂在北京半导体器件二厂的大力支持
下,开始试制平行缝焊机。1981年6月,试制出第一台样机,定型为PFJ—2。其封装漏气
速率≤1×10-7大气压毫升/秒,一次合格率可达90%以上。8月,通过市级设计定型
鉴定,并投入生产。同年,获青岛市优秀新产品奖。1983年5月,该机参加全国首届电子
设备展销会,受到了国内外参观者的好评。同年,获国家经委优秀新产品奖。
为了适应生产大规模集成电路的需要, 青岛无线电专用设备厂于1985年试制出大
型平行缝焊机,可用于64K陶瓷金属化管壳的大规模集成电路的焊接。
至1986年,平行缝焊机历年累计生产42台。