1967年9月,青岛无线电专用设备厂在仅有一名无线电专业大学生、两名技术工人
及一只万用仪表的条件下, 试制成功第一台炉管口径为62毫米的高温扩散炉, 定型为
D051—32。
为提高控温精度的稳定性, 生产更高水平的扩散炉,1968年,对D051—32型扩散炉
进行了改进: 将机械与电子混合式改为全电子管式,取消磁放大器,利用可控硅作功率
放大,定型为D070—1。1970年,青岛无线电专用设备厂与上海仪表研究所合作,共同研
制成功精密温控仪用于高温扩散炉, 定型为CQW—70,为全国第一台高精度长温区扩散
炉。CQW—70型扩散炉控温精度为±0.5C/24小时, 恒温区长度600毫米/±1℃,达到当
时日本扩散炉的水平。
由于“批林批孔”运动的严重干扰,扩散炉生产基本停顿。“文化大革命”后,扩
散炉生产开始得到恢复和发展。1977年,对比国内同行业的先进水平,扩散炉又做了进
一步的改进。炉体结构改为积木式,使整机既可以是整体式,也可以是分离式。经过这
些改进, 不仅提高了扩散炉的性能,而且大大方便了用户。1977年末,新型样机调试成
功, 定型为QK1—3。新型炉口径为直径80毫米,控温精度为±0.5℃/24小时,恒温区长
度为600毫米/±0.5℃,处于国内先进水平。1978年底,产量60台,为历年之最。中共十
一届三中全会以后, 大口径扩散炉遂开始研制。1979～1980年, 相继研制成功直径为
100毫米和120毫米的大口径扩散炉。
为延长扩散炉的使用寿命,1980年8月,用硅炭管作为新的发热元件的L4514II型扩
散炉通过省级鉴定,并投入生产。硅炭管扩散炉具有“两高”(控温精度高、使用温度
高) ,“两长”(使用寿命长、恒温区长)的特点,在国内居领先地位,1982年,获山东省
科委科研成果一等奖。
至1982年底, 青岛生产的扩散炉口径有80毫米、90毫米、100毫米、120毫米等规
格,炉体有整体式、分离式。扩散炉生产基本形成了系列化。
青岛无线电专用设备厂在产品形成系列化的条件下, 努力提高产品性能和产品质
量。1983年下半年,L4514II型扩散炉由原硅炭管炉改为无内炉管的扩散炉。这种扩散
炉使用寿命长, 温度高(1300℃,短时间可达1350℃),升降温度快,动态特性好,节约电
力。1984年, 在电子工业部第二次全国扩散炉质量检测中,有九项指标(控温精度、恒
温稳定性、升温功率、升温时间、稳定时间、恒温功率、电网电压波动影响、定值重
复性、推舟恢复时间) 名列全国第一。168小时连续试验考核合格,不仅达到了部颁标
准,有些指标还超过了美国、日本、英国三国产品的指标,获电子工业部和山东省优质
产品奖。
青岛高温扩散炉的生产经过近20年的发展, 产品质量和技术水平得到了大幅度的
提高, 产品行销全国21个省市的200多个单位。至1985年底,各种型号累计总产量已达
852台。11月,新一代高温扩散炉——微机程控扩散炉在青岛无线电专用设备厂研制成
功,这是青岛扩散炉生产发展的一个新的里程碑。