电子测量仪器 1964年，济南无线电二厂在山东工学院的协助下，试制成功
SB-10示波器。
1977年，山东大学研制出DS18A型高灵敏度积分式数字电压表，获全国科学大
会奖。
1979年，济南无线电八厂徐剑石等研制成功JB-7703型精密晶体管分析仪和JB
-7704型微电流恒电源，用于对器件HFE-le转性和反向漏电流等电性能的精密测量，
反向漏电流的测量精度最高档每分刻度力2PA，IC的调节范围精度高档为0-5nA。同
期，该厂研制生产的JB-7709型运算放大器测量仪，对研制组装低漂移、低噪声、
高稳定性的运算放大器提供了可靠的测试手段，三种仪器同获1979－1980年度省科
技成果二等奖。
1980年，山东大学研制成功DO-14型10nV直流放大器，获1981年省科技成果二
等奖和1983年电子工业部科技成果二等奖。曲阜师范学院研制成功IC-1型激光参数
测量仪，获1981年度省科技成果二等奖。
电子专用设备 1966年，青岛无线电专用设备厂试制生产出L6515Ⅱ-4单管氢
气炉。
1972年山东大学与上海元件五厂联合研制的60kev离子注入机，山东工业大学
研制的电子束爆光机，均获1978年全国科学大会奖。
1978年，山东工学院研制出电子束双光路激光定位系统，定位精度达±0.5微
米，国内首创，获1978年省科技成果二等奖。
1980年，青岛无线电专用设备厂殷克让与山东省生建八三厂国方牧等联合研制
成功长温区硅碳管高温扩散炉，控温精度达±0.5°C/24小时，获1979－1981年度
省科技成果一等奖。
1982年，山东工学院张玉林等研制出多功能电子束曝光机数字控制器，稳定可
靠，国内领先，并造出国际水平的器体，获1982年度省科技成果二等奖。
1982年，威海无线电三厂与中科院半导体所联合由席光荣等研制成功等离子低
压化学气相淀积设备(P-LPCVD)，采用双层反应室，下仅能做等离子氮化硅，而且
能做高温氮化硅、多晶硅，具备一炉多用的特点。制做薄膜质量达到国际水平。为
国家半导体和大规模集成电路工艺的发展提供了一种新型设备。获1983年度省科技
成果二等奖，1985年国家科技进步三等奖。
1983年，青岛无线电专用设备厂邵先波等与西安整流器研究所联合研制成功
HY-400热稳态压力机，是电力半导体器件试验设备的主要附件，自动恒温恒压控制，
精度高，居国内领先水平，获1984年电子工业部科技成果二等奖。