表6-2 单位：台
┌────┬──────┬──────┬──────┐
│年份 │L6515Ⅱ-4型 │D051-32型 │H105型 │
│ │单管氢气炉 │高温扩散炉 │单面磨片机 │
│ ├──────┼──────┼──────┤
│ │青岛无线 │青岛无线 │济南无线 │
│ │电专用设备厂│电专用设备厂│电设备制造厂│
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1966 │14 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1967 │27 │1 │35 │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1968 │31 │14 │50 │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1969 │20 │ │50 │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1970 │18 │ │30 │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1971 │10 │ │50 │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1972 │25 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1973 │57 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1974 │22 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1975 │11 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1976 │10 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1977 │10 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1978 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1979 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1980 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1981 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1982 │5 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1983 │4 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1984 │5 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1985 │17 │ │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1986 │3 │52 │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1987 │ │36 │ │
├────┼──────┼──────┼──────┤
│1988 │5 │61 │ │
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│累计产量│294 │164 │215 │
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续表
┌────┬──────┬──────┬───────┐
│年份 │H110型 │L4514Ⅱ型 │L4514Ⅱ_33/RZQ│
│ │抛光机 │高温护散炉 │电脑程控 │
│ │ │ │高温扩散炉 │
│ ├──────┼──────┼───────┤
│ │济南无线 │青岛无线 │青岛无线 │
│ │电设备制造厂│电专用设备厂│电专用设备厂 │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1966 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1967 │51 │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1968 │30 │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1969 │40 │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1970 │20 │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1971 │50 │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1972 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1973 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1974 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1975 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1976 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1977 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1978 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1979 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1980 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1981 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1982 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1983 │ │33 │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1984 │ │52 │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1985 │ │15 │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1986 │ │44 │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1987 │ │10 │ │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│1988 │ │32 │5 │
├────┼──────┼──────┼───────┤
│累计产量│191 │186 │5 │
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续表
┌────┬───────┬───────┬───────┐
│年份 │L6413Ⅱ-1型 │L4611-D型 │L4811Ⅱ型 │
│ │坑式真空烧结炉│卧式真空烧结炉│立式真空烧结炉│
│ ├───────┼───────┼───────┤
│ │青岛无线 │青岛无线 │青岛无线 │
│ │电专用设备厂 │电专用设备厂 │电专用设备厂 │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1966 │ │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1967 │ │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1968 │ │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1969 │ │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1970 │ │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1971 │1 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1972 │2 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1973 │8 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1974 │5 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1975 │10 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1976 │7 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1977 │14 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1978 │12 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1979 │10 │ │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1980 │ │10 │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1981 │ │5 │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1982 │ │5 │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1983 │ │10 │ │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1984 │ │10 │23 │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1985 │ │20 │21 │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1986 │ │5 │10 │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1987 │ │ │10 │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│1988 │ │ │20 │
├────┼───────┼───────┼───────┤
│累计产量│69 │65 │84 │
└────┴───────┴───────┴───────┘
续表
┌────┬──────┬──────┬─────┐
│年份 │ZD-306型 │单晶炉 │ZFZ型 │
│ │真空镀膜机 │ │热压焊机 │
│ ├──────┼──────┼─────┤
│ │青岛无线 │青岛无线 │烟台无 │
│ │电专用设备厂│电专用设备厂│线电设备厂│
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1966 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1967 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1968 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1969 │1 │ │10 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1970 │51 │10 │24 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1971 │60 │10 │156 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1972 │80 │ │10 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1973 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1974 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1975 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1976 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1977 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1978 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1979 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1980 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1981 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1982 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1983 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1984 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1985 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1986 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1987 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1988 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│累计产量│192 │20 │200 │
└────┴──────┴──────┴─────┘
续表
┌────┬──────┬──────┬─────┐
│年份 │DWK/RZQ │PFJ-2型 │低压化学气│
│ │电脑温控仪 │平行缝焊机 │相淀积设备│
│ ├──────┼──────┼─────┤
│ │青岛无线 │青岛无线 │威海无线 │
│ │电专用设备厂│电专用设备厂│电三厂 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1966 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1967 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1968 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1969 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1970 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1971 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1972 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1973 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1974 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1975 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1976 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1977 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1978 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1979 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1980 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1981 │ │10 │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1982 │ │20 │10 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1983 │ │4 │5 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1984 │ │6 │13 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1985 │ │2 │12 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1986 │ │ │ │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1987 │10 │ │2 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│1988 │41 │ │5 │
├────┼──────┼──────┼─────┤
│累计产量│51 │42 │47 │
└────┴──────┴──────┴─────┘