山东电子测量仪器与电子专用设备工业发端于60年代中期。1965年，济南电子
仪器厂(现济南无线电二厂)在山东工学院的帮助下，试制成功SB-10型示波器，次
年投入生产；1966年，青岛无线电专用设备厂试制成功L6515Ⅱ-4型单管氢气炉，
当年投入小批量生产。这是山东省最早生产的电子测量仪器与电子专用设备产品。
至60年代末期，生产企业逐渐增加，新产品不断出现，电子测量仪器主要产品有示
波器、计数器、万用电源、数字频率计、晶体管特性图示仪等，产品产量1966年为
160台，1969年增加到1595台；电子专用设备主要产品有氢气炉、高温扩散炉、真
空镀膜机、热压焊机等，产品产量1966年为92台，1969年增加到306台。电子测量
仪器与电子专用设备工业雏型基本形成，为进一步发展奠定了基础。
70年代，电子测量仪器与电子专用设备工业获得初步发展。到1979年，电子测
量仪器生产企业增加到18个，生产电子测量仪器9602台，比1969年增长5倍。工业
总产值3347万元，占全省电子工业总产值的4.47%。电子专用设备工业先后试制(研
制)成功单晶炉、坑式真空烧结炉、立式真空烧结炉、多种型号高温扩散炉、塑料
注射成形机等产品，企业的生产能力稳步增强。1979年，电子专用设备工业产量为
113台，产值占全省电子工业总产值1.17%。1970-1979年，累计生产电子专用设备
4590台。
80年代，电子测量仪器和电子专用设备工业技术水平明显提高，产品产量及质
量稳定上升。1980-1988年，电子测量仪器行业共获得省级以上科技成果奖(包括优
秀新产品奖)23项次，获得省级以上优质产品奖10项次，获得全国同行业评比奖2项
次；电子专用设备行业共获得省级以上科技成果奖12项次，获得省级以上优质产品
奖7项次。
1988年，山东电子测量仪器与电子专用设备工业企业数量分别为14个与12个，
职工人数为3615人与3291人，其中技术人员421人与168人；固定资产原值2415万元
与2486万元；拥有设备仪器2318台与715台；建筑面积16.8万平方米与9.46万平方
米；完成工业总产值4861万元与4622万元，占全省电子工业总产值2.25%与2.14%。