二、线性集成电路

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  1976年7月,青岛半导体研究所确定以通用集成运算放大器电路(简称运放电路)
4E304替代专用集成运放电路与场效应对管管芯组成的二片式高阻抗集成电路,试
制出4E304中增益运放电路,继而试制出高阻抗运放电路(二片式)。11月,该所与
七机部一院十三所签定《关于STL(IC)-77混合集成电路研制协议书及发展长期对口
协作关系方面的初步设想》。
  1977年5月,该所试制出的低功耗集成运放电路FC54、高增益集成运放电路
FC52和中增益集成运放电路4E304,都形成了小批量生产能力,8月,该所开始着手
进行高增益集成运放电路4E322的试制工作。
  1978年,该所与七机部一院十三所签定了试制混合集成电路--变换放大器BH-1
的协议书。3月,承接了国防重点工程任务急需的BT17、4E304、3CG1、4、8、BT33
以及BH-1变换放大器混合集成电路的试制及生产任务。
  1979年,该所开始进行净化车间等技改项目的设计及部分实施。5月至6月,线
性集成运放电路F010Y(FC54)、F005Y(4E304)通过了生产定型鉴定。9月,开始采用
二次离子注入技术和兼容工艺研制高阻抗集成运放电路。用这种工艺研制集成电路
在国内尚属首次。1980年1月,研制出了样品。7月至8月,该所试制出了硅片MOS电
容(100-250PF),为研制BH-1混合集成电路提供了电容芯片,在国内混合集成电路
的发展史上开创了先例。10月至11月,试制出XZX3相敏整流集成电路的样品,12月,
采用薄膜工艺与多种多块半导体集成电路芯片二次集成技术研制出BH-1相敏解调变
换放大器混合集成电路,经七机部一院十三所测试验收合格。这是山东省首次采用
二次集成技术研制的混合集成电路,在国内处于领先地位,为全国混合集成电路的
发展及其应用开辟了新的途径,受到中国电子学会、电子元件学会厚薄膜混合集成
电路专业组第二次学术交流会的好评,并载入这次学术交流会的技术总结。FC54运
放电路1980年获全国同行业评比第一名,1982年被评为山东省优质产品。
  1980年,该所添置了一台20万电子伏特的离子注入机,更新部分半导体专用设
备,进行了低漂移前置放大器TD01、收录机用集成电路TD4100、高阻抗运放电路
TD04、TD05、高温中增益运放电路4E304HT、300PF硅片、MOS电容、运放测试仪等
新产品的试制工作,并对F073、TD01、F070运放测试仪进行了鉴定。同时,TD4100
也试制出了样品,该产品1981年被青岛市科委评为青岛市优秀产品。
  1980年11月,该所与八机局五五八厂签定了研制温控恒流源混合集成电路的协
议,1981年8月完成了第一阶段的研制任务,向五五八厂提供了样品并进行了验收。
该所还开展了F006、F007、F010、4E322以及高速、高输入阻抗运算放大器电路
TD080等新产品的试制工作。1982年,该所试制成功了功放集成运放电路TD810和高
输入阻抗双运放电路。
  1983年,该所在国防科工委济南会议上正式被接受为“七专”产品预备点。这
一年,该所试制了高温集成电路F007HT和高温半导体器件3CGHT等产品。高温半导
体运放电路的试制与生产及高温半导体器件的试制,开辟了国内半导体器件与集成
电路发展的新领域,在全国处于领先地位。1983年,高温中增益运算放大器
4E304HT与TD05高输入阻抗运放电路分别获国家优秀新产品“金龙奖”。
  由于该所为发射同步卫星提供了性能可靠的产品,1984年5月,荣获电子工业
部和国防科工委颁发的奖状。6月,开始试制TD823功率放大器,并与北京航空学院
二系签定了有关协作研制模块乘法器电路的协议。9月,山东省质量监督站对该所
产品TD05和4E304HT进行了产品质量检查,两种产品均评为一类品。
  1985年6月,青岛半导体研究所的F007HT高温高增益运算放大器,3CG110HT、
3CG120HT高温高频小功率PNP晶体管,TD080高阻高速运算放大器和4E304HT高温中
增益运算放大器等五项新产品通过了部、省级设计和生产定型鉴定。12月,该所开
始研制TD9073微机及数字电路用电子开关、TD4302多功能模拟运算电路、TD101高
精度低漂移数据仪用放大器等。同年,4E304HT高温中增益运算放大器获山东省优
质产品奖。
  1986年,该所根据电子部下达的任务,开始研制低噪声薄封中放管、TD515高
阻抗运算放大器、TD0033高速跟随器、TD27超低噪声低漂移运算放大器电参数规范
表、TD37超低噪声宽带高精密运算放大器等七项军品。同时研制的新产品还有
TD351宽带高阻运算放大器、TD356-357高输入阻抗、高速宽带高阻运算放大器、
TD412高阻双运算放大器、TD311集成电压比较器、冷藏列车智能测温系统等。这一
年,该所先后为气象卫星发射等十多项国家重点工程和军事装备提供了15个品种近
1500只高可靠“七专”集成电路和晶体三极管。
  1988年,青岛半导体研究所生产各种线性集成电路136.48万只,累计产量达
189.67万只。
  1970年9月,济南半导体元件实验所开始试制硅场效应电路。1979年2月试制成
功F007线性运放电路和BG305线性运放电路。
  1981年5月,该所余关松等试制成功LY481集成四象限模拟乘法器。该产品可用
作乘、除、平方、开方等基本数字运算,用作求解非线性方程、调制、混频、倍频、
检波、鉴相、鉴频、动态增益控制等,广泛用于计算、通信、电视、雷达、航天及
测量等电子设备中,具有频带宽、线性好、输入范围宽、交流馈通效应小等优点,
能进一步提高运算精度、减小温度漂移、缩小体积。该产品1983年获国家优秀新产
品“金龙奖”。
  1981年5月,该所刘庚乾等试制成功LY480高阻抗头(双极--MOS复合管),适用
于配接石英或陶瓷压电换能器及其它敏感元件需要阻抗变换的电子线路,可广泛用
于仪器、仪表、收录机等需要高输入阻抗的前置级,同时也可作为MOS电路的输出
驱动级。该产品既有输入阻抗高、噪声系数小的MOS场效应管的优点,又具有跨导
大、饱和压降小、负载能力强、输出阻抗低的双极型晶体管的优点,填补了国内空
白,1981年获山东省科技成果二等奖,1983年获国家优秀新产品“金龙奖”。
  1982年8月,该所马瑞芬、邓淑华等研制成功CMOS集成电路四路开关。该产品
1983年获得山东省科技成果三等奖和国家优秀新产品“金龙奖”。1982年,该所还
试制成功注入逻辑电路等新产品,1984年12月,又试制成功F004通用运放电路。其
后生产的模拟集成电路运算放大器有F001通用I型、F002-005通用Ⅱ型,F006-007
通用Ⅲ型、BG305高增益、F011低功耗运算放大器等多种,产品质量优良、可靠性
高。BG305、F007等型号属高可靠“七专”产品。到1988年,济南半导体元件实验
所累计生产线性集成电路48.63万块。