1969年6月，青岛半导体研究所承担了为某军工项目试制数字集成电路双稳态
触发器的任务，遂分别派人到中国科学院半导体研究所学习用介质隔离工艺制造集
成电路技术，到上海无线电元件五厂学习用P-N结隔离工艺制造集成电路技术。同
时，分别请中科院半导体所和上海元件五厂协助将双稳态触发器电路的电原理图转
换成工艺试制的版图，并于当年9月开始采用介质隔离工艺试制双稳态触发器集成
电路。1970年上半年试制出样品。
为适应半导体器件及集成电路研制与生产需要，1969年该所陆续添置了一些必
需的半导体平面工艺专用设备和仪器、仪表，其中包括从日本引进一套完整的初缩
照像、六头分步重复精缩制版设备。这套设备当时是华东地区第一套较好的同类引
进设备，1970年初投入使用。1971年9月该所自筹资金建造的1500平方米工艺大楼
投入使用。1971年上半年，该所试制DTL、HTL集成电路、硅微电流、微功耗三极管
MOS器件和双PNP晶体管(S3CG)。1972年上半年试制中速TTL单与非门数字集成电路，
并用介质隔离工艺试制微电流NPN双三极管。
1973至1974年，该所试制出TTL中速单与非门数字集成电路和微功耗双三极管、
场效应管与对管，并开始试制铝栅MOS数字集成电路。1975年10月，该所根据山东
省电子工业局下达的试制任务，开始制订《关于1024位随机存储器(大规模集成电
路)的试制方案》，并进行试制工作。上述产品均未批量生产。
1970年3月，山东省半导体所开始试制集成电路，1972年试制成功单与非门集
成电路，1975年生产出5M3.4与非门集成电路和延迟线两种产品。1976年7月试制出
高速单与非门集成电路，月产量达到1.5万块。1977年6月，试制出高速四与非门集
成电路，月产量达到3.5万块。1976年至1979年，共生产与非门TTL电路等25万块，
其后停产。
1976年4月，济南半导体元件实验所试制成功中速TTL数字集成电路，并自行设
计制造一台TTL电路直流参数自动测试仪，解决了试制和生产的急需。到1984年共
生产125.37万块。1983年后未再生产。
1970年起，烟台无线电一厂先后试制生产TTL(晶体管--晶体管逻辑)型、DTL(
二极管--晶体管逻辑)型小规模数字集成电路和I2L(集成注入逻辑)型集成电路。
1976年，该厂生产各种集成电路39.32万块。1976年后停产。
1976年，青岛电器元件厂研制出HTL型集成电路，有7个规格。1979年，因销路
不畅而停产，累计生产10万块。